Informazioni sulle bobine RF Glass Expansion

Benefici della manutenzione della bobina RF

Il principale problema di una bobina RF è la corrosione, dovuta a calore o ossidazione chimica. La corrosione riduce l'efficacia con cui l'energia viene trasferita al plasma, aumentando la sollecitazione sugli altri componenti del sistema di generazione RF. In particolare, il tubo di potenza RF o i FET di amplificazione RF devono generare più potenza per erogare al plasma la stessa quantità di energia.

Le bobine sono i trasmettitori dell'energia RF. La capacità dei diversi materiali di condurre l'energia RF svolge un ruolo importante nell'efficacia generale del plasma. Gli ossidi di metallo non conducono l'RF con la stessa efficacia del metallo puro. In particolare, il solfato di rame è un cattivo conduttore, mentre l'ossido di argento ha un'efficacia di gran lunga inferiore. I metalli migliori per l'RF sono l'argento puro IAC (International Annealed Copper Standard) 105, il rame ricotto IAC 100 e l'oro IAC 74.

Se il problema maggiore è rappresentato dal calore, il modo migliore per trattarlo consiste nell'impiegare una bobina rivestita con un materiale altamente riflettente, ad esempio l'argento. Con l'uso, però, l'argentatura si ossida. In queste circostanze, per prolungare al massimo la durata di una bobina è necessario pulirla spesso con un disossidante, un accorgimento che, infine, consumerà il rivestimento in argento. Se, però, l'ossido non viene eliminato, il maggiore assorbimento espone al rischio di aumento eccessivo della temperatura, con conseguente distacco di scaglie della cromatura dal tubo di rame. Questo fenomeno espone il rame nudo che si deteriora a velocità maggiore. Il rame si ossida molto più rapidamente, determinando la possibile formazione di archi tra le bobine e diminuendo il trasferimento di energia al plasma.

La migliore arma contro la corrosione chimica è la doratura della bobina. Il processo di rivestimento è fondamentale per le prestazioni della bobina. La doratura può produrre un rivestimento poroso che espone i tubi in rame al rischio di un attacco chimico: in questo caso la cromatura diventerebbe inutile. Il processo di rivestimento utilizzato per fabbricare le bobine con cromatura in oro della Glass Expansion è stato messo a punto per rimuovere l'effetto porosità, preservando un alto grado di purezza. Nel tempo la doratura mostrerà segni di solfato di rame in superficie, un fenomeno dovuto alla migrazione del rame attraverso il rivestimento. Per prestazioni ottimali, questi depositi vanno rimossi con un lucido abrasivo per metalli, privo di acido. Purtroppo una volta iniziata, la migrazione finirà col ripresentarsi a sempre maggiore velocità per cui alla fine sarà necessario sostituire la bobina.

Una pulitura periodica della bobina ne prolunga la durata, consentendo di ottenere un processo di produzione del plasma più uniforme che a sua volta determinerà risultati migliori per le analisi, riducendo al contempo le sollecitazioni sul generatore RF.